一·真空晶體生長(zhǎng)爐單晶爐石墨燒結(jié)爐設(shè)備用途
主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體制備,氟化物類晶體生長(zhǎng),燒結(jié),退火等處理
二·真空晶體生長(zhǎng)爐單晶爐石墨燒結(jié)爐產(chǎn)品特點(diǎn)
1·模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,外形美觀,
2·采用底部電動(dòng)升降和鐘罩式爐體升降,結(jié)構(gòu)精巧,方便,移動(dòng)平穩(wěn)裝卸料方便
3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動(dòng)化程度高,操作直觀,功能強(qiáng)大。
4· 在觸摸屏內(nèi)可預(yù)存幾十種燒結(jié)工藝,一次編輯,以后直接調(diào)用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯(cuò)誤,燒壞產(chǎn)品。
5· 燒結(jié)的溫度,真空度,等數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)記錄,也可隨時(shí)啟動(dòng)停止記錄,減少無(wú)用數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)可查詢,可導(dǎo)出下載。
6· 燒結(jié)溫度高,用石墨發(fā)熱體,最高可達(dá)1600℃,
三·設(shè)備參數(shù)
1·設(shè)備總功率:≤15Kw;電源電壓:3相380V,50Hz
2·最高溫度:1650℃ 加熱功率 ≤8Kw 單相220V
3·額定溫度:室溫~1600℃
4. 工作區(qū)尺寸:Ф60×100mm(直徑×高,)
5·爐體內(nèi)徑Ф300Ф500mm(暫定)
6.測(cè)溫系統(tǒng): 鎢萊熱電偶
7.控溫精度: ±0.1℃
8.加熱區(qū): Ф80×120mm
9.坩堝下降速度: 慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)
快速升降50-200mm/min(帶手動(dòng)升降)
位移行程 ≤150mm
10.中心軸有效行程/載重: ≤300mm/20kg
11.爐內(nèi)充氣壓力: ≤0.05MPa
四、結(jié)構(gòu)說(shuō)明
1、爐蓋:采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)外壁為304不銹鋼,內(nèi)外壁與爐體上下法蘭組焊成整體結(jié)構(gòu),爐蓋設(shè)有鎖緊裝置。內(nèi)外壁都做精密拋光處理,爐蓋上留有充放氣閥,壓力表等標(biāo)準(zhǔn)接口。
2、爐體機(jī)構(gòu):同樣采用外壁為304不銹鋼材料雙層水夾層結(jié)構(gòu),內(nèi)、外壁作精密拋光處理,爐體與下法蘭組成筒型結(jié)構(gòu),法蘭平面開(kāi)設(shè)密封槽。采用“O”形圈真空密封,并設(shè)水冷裝置(防止因溫度過(guò)高使“O”形圈老化。側(cè)部設(shè)計(jì)有加熱電極以及測(cè)溫裝置接口,還配置有標(biāo)準(zhǔn)KF真空接口。
3、爐底及升降裝料機(jī)構(gòu):爐底與爐體采用“O”圈真空密封,并設(shè)水冷裝置,真空系統(tǒng)及坩堝電動(dòng)伺服絲桿升降,爐底與爐體的聯(lián)接均采用緊固壓緊密封。爐底法蘭整個(gè)安裝在一線性模組上,可整體升降,用于裝卸材料使用。爐底配置晶體生長(zhǎng)用線性模組,由伺服電機(jī)帶動(dòng),用于坩堝升降,做晶體生長(zhǎng)使用。升降桿與爐底采用焊接波紋管密封,防止行走過(guò)程真空的泄漏,保證密封的可靠性。
4、發(fā)熱元件及隔熱屏:加熱采用高純石墨作發(fā)熱體,純度高,無(wú)揮發(fā),有效保證爐腔內(nèi)的清潔度。隔熱材料采用石墨成型纖維軟氈,保溫效果好,耐沖擊性好。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定,便于安裝與維護(hù)。溫度控制采用一支鎢錸熱電偶全稱控溫測(cè)溫使用。同時(shí),在隔熱屏外設(shè)置一支監(jiān)控?zé)犭娕?,監(jiān)控隔熱屏外溫度,提高設(shè)備的安全使用性能效率高耐沖擊性強(qiáng)發(fā)熱體與爐體電極聯(lián)接,水冷電極安裝在電爐側(cè)部,并設(shè)冷卻水通水冷卻。
5、真空系統(tǒng):由TRP-16機(jī)械泵,和高真空氣動(dòng)擋板組成,并配有真空壓力表、充氣閥、放氣閥。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接(減緩震動(dòng)),真空測(cè)量選用具有數(shù)字顯示功能的復(fù)合真空計(jì)執(zhí)行。
6、溫控系統(tǒng):控制加熱系統(tǒng)有可控硅調(diào)壓器+低壓高流大功率變壓器+測(cè)溫裝置,組成閉環(huán)控制系統(tǒng),溫度儀表采用程序儀表帶PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,帶自整定自我調(diào)整能力。穩(wěn)定可靠,控制精度高。控制系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏的方式,溫度、真空、位移數(shù)據(jù)可記錄可查詢,曲線可現(xiàn)實(shí),數(shù)據(jù)可保存可導(dǎo)出,溫度程序數(shù)據(jù)可編譯可保存可調(diào)用。控制系統(tǒng)集中安放在爐架的一側(cè)箱體內(nèi),整結(jié)大方,維修方便,所有器件均采用施耐德,西門子等,保證使用安全??刂葡涔裆隙加邪踩举N,安裝接線標(biāo)準(zhǔn)化制作。
7、水冷分配系統(tǒng):由主管道、分管路、水閥、壓力報(bào)警等相關(guān)裝置組成,具有斷水聲光報(bào)警及自動(dòng)切斷電源等功能。
8、變壓器及聯(lián)接電纜:采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜