真空碳管燒結(jié)爐為立式爐體,最高加熱溫度1700℃,其功能主要分真空系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)兩個模塊,真空實現(xiàn)的原理先是通過機械泵對泵體和爐內(nèi)抽低真空,利用兩級蝶閥控制系統(tǒng)將爐內(nèi)真空度降低至20Pa以下。再通過加熱擴散泵抽至實驗所需的高真空狀態(tài)。加熱系統(tǒng)由大電流變壓器和電控柜實現(xiàn),爐內(nèi)溫度經(jīng)鎢錸熱偶測得后在數(shù)顯程序儀表上顯示。溫控系統(tǒng)則有數(shù)字控制器控制,可將多級加熱過程進行編程,一體控制。
真空碳管燒結(jié)爐開爐前的檢查可先打開控制盒中的進水,出水,冷卻及風扇開關(guān),檢查進水泵,出水泵,冷卻塔上冷卻風扇和排氣扇是否正常工作。然后開啟控制柜總電源開關(guān),檢查控制柜電源指示燈是否點亮及柜內(nèi)柜內(nèi)散熱風扇工作是否正常。實驗需充保護氣體時,要準備充足的氣源,氣瓶、減壓閥及管路連接要安全可靠。與爐體充氣閥門的充氣口相連后,先檢查是否漏氣,方可按要求使用。檢查后依次打開控制盒中的進水、出水、冷卻、風扇及照明開關(guān)(最右邊為照明燈開關(guān),晚上實驗時打開使用)。
裝試樣時將試樣平穩(wěn)放在爐底石墨平臺上。坩堝燒制樣品時底部先用石墨條做支墊,再將坩堝放到爐底石墨平臺上。注意試樣不能與周圍發(fā)熱體接觸,以免讓發(fā)熱體發(fā)生短路,損壞發(fā)熱體。
抽真空時要關(guān)閉所有閥門,開機械泵,十秒后打開慢慢打開上1號蝶閥,當真空壓力表指針到負0.1MPa時緩慢開啟打開下2號蝶閥,一分鐘后再緩慢開啟擴散泵,加熱45分鐘后打開真空計。當數(shù)顯真空計低于20Pa時,先關(guān)閉上1號蝶閥,再打開3號主擋板閥,真空計會迅速變?yōu)樨摂?shù)(抽高真空完成)。